刻机更像是中间执行的环节,而在执行前后,还需要很多同样重要的工作,比如说计算光刻和量测。”
术业有专攻,她担心其他做元件和器件的同行不懂,进一步开口解释着,
“计算光刻指的是利用各种物理,化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。
通过修改各种参数,寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状,来提升光刻的质量。
这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验,都通过之后才能进行真正的试飞,否则既危险又成本高昂。
计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”
那边的徐端颐也补充着,“量测,就是进行芯片的缺陷检测,判断芯片是否合格。
一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光,由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整,为了保证移动的稳定和精准,避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废,就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测,并且实现校正和结果的反馈,从而不断的提升良率……”
徐端颐的话还没说完,就被卿云展示出来的ppt给打断了,而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。
狗日的!
你便宜老师科普的时候你不打断,我特么说话的时候你就来打脸是吧!
手里的茶杯盖子都想呼在那臭屁小子的脸上了。
太不尊老了!
台上的卿云嘿嘿的笑着,“集成电路制造的主要流程大概是,opc、smo计算光刻-涂胶-曝光-显影-刻蚀-离子注入-光刻胶移除-沉积-下一层制程-量测检验。
这十大工序,如同上面光刻机器的七大系统,我都进行了考虑和安排……”
徐端颐的内心虽然被卿云突如其来的ppt展示打断而感到有些尴尬,但随即他的心中却涌起了一股莫名的欣喜。
他心中暗自思忖:“这小子,确实有两把刷子。这种打脸,打得我舒坦。这说明了,他确实对各个环节都了如指掌,并且一一做了预案。”
徐端颐望着卿云的眼神中,不禁流露出了赞许的神色。
他知道,卿云的准备充分,意味着整个项目的成功概率将会大大提高。
在科研领域,一个详尽的预案往往能够决定一个项目能否顺利进行。
这种被后辈以实力打脸的感觉,让他既感到有些没面子,但同时也感到欣慰。
他明白,他们已经老了,甚至这里坐着的不少人,其实已经到了油尽灯枯的年纪。
科研的未来需要依靠这些有准备、有远见的年轻人,而卿云,无疑是其中的佼佼者。
“小卿,你这准备……做得好!”
徐端颐毫不掩饰自己的赞赏,他的声音中透露出一丝宽慰,“有你这样的年轻人在,我们这些老骨头也就放心了。”
云帝微微一笑,他知道,这些前辈们的认可,是他前行路上最宝贵的支持。
他点了点头,认真地说道,“徐老爷子,您放心,我会尽我所能,确保每一步都走得稳健。”
那边一直没有说话的王守觉,此时皱着眉头问着,“小卿,我有个疑问,你能不能给我解惑?”
给大佬解惑?
面对华国半导体界的"小王先生",云帝自然是不敢这么托大的,请"小王先生"但说无妨。
王守觉也没有客气什么,“小卿,你在开始就一直在向我们灌输商业循环的概念。
但是,涉及到光刻机的时候,我感觉……你仿佛并没有考虑光刻机本身的商业化。
因为你的讲解和方案里面,第一我没有看见你让小徐去规避专利技术,第二我也没有看见方案里面有集成化的参与。
你是不是漏了什么?”
说到这里,他赶紧摆了摆手,解释了一句,“我不是在质疑你的纲领和方案,只是觉得有些奇怪。呃……我不知道你是不是遗漏了。”
王守觉这么一说,倒是点醒了众多大佬,分分翻看着方案。
这个确实有瑕疵了。
光刻机最难的一步,便是整合。
卿云在台上无奈的笑了笑,“你们不用翻了,我就没有考虑过光刻机商业化的问题。”
他耸了耸肩膀,“各位前辈,你们认为我们造出来光刻机后,短期内能出口吗?”
说到这里,他双手一摊,“这都不是鸡和蛋的问题了。我认为,以终为始,只要我能把芯片造出来,里面采用的什么技术,我不关心。
反正我又不卖光刻机。
而光刻机器是什么形态的我不介意,哪怕你们造出来的,跟个足球场那么大,我也无所谓的。”
众人闻言,目瞪口呆。
而重生的云帝却觉得有点寂寞。
“诸位前辈,你们有没有注意到,除了浸没式光刻机外